1、对于不同特性的气体，要规划***立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙和泄漏口。

2、管路设计要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高。通常较合理的设计流速为20ml/s，可燃气体小于10ml/s，***行/腐蚀性气体小于8ml/s，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4～3/8。

3、根据用气设备的分布，高纯气体的官网不宜过大或者过长。宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

4、管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管。

5、对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

6、为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

7、在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10-9级的高纯气体，为了确保末端勇气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。

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